特点:
• 高精度测针型CNC 表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/ 轮廓的测量。
• X1 轴和Z2 轴的最大驱动速度分别为40mm/s 和200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓/ 多工件测量的效率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨率[X1 轴分辨率:6.25nm, Z1 轴分辨率:4nm/8nm(CS-5000CNC), 1nm/2nm (CS-H5000CNC)] 的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
• Z1 轴检出器采用主动控制方式,减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
• Z1 轴检出器集成了防碰撞安全装置,当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时,检测装置可以自动停止工作。
• CS-5000CNC 带有a 轴,可以通过电动旋转X1 轴连续测量水平面和倾斜面。
• 带有Y 轴工作台的型号,可沿Y 轴进行多工件定位,从而增加了多工件测量范围。
• 提供易于操作的控制盒,用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
• 通过USB 端口与数据处理/ 分析装置(选件)进行信息交换。